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MEMS Materials and Processes Handbook [electronic resource]0索取号： 作者：Ghodssi、 Reza.、Lin、 Pinyen.、SpringerLink (Online service)、 出版社：Boston, MA : Springer US : Imprint: Springer, 2011. |
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MEMS Materials and Processes Handbook [electronic resource]0索取号： 作者：Ghodssi、 Reza.、Lin、 Pinyen.、SpringerLink (Online service)、 出版社：Boston, MA : Springer US : Imprint: Springer, 2011. |
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