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微机电系统封装

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索取号：TN405.94/20061
作者：徐泰然、姚军、
出版社：北京 : 清华大学出版社, 2006

MEMS和微系统 : 设计与制造 / (美) 徐泰然著 : design and manufacture

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索取号：601677
作者：徐泰然、王晓浩、
出版社：北京 : 机械工业出版社, 2004
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