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用于恶劣环境的碳化硅微机电系统

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索取号:TN304/20102
作者:张、王晓浩、唐飞、王文弢、
出版社:北京 : 科学出版社, 2010

MEMS和微系统 : 设计与制造 / (美) 徐泰然著 : design and manufacture

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索取号:601677
作者:徐泰然、王晓浩、
出版社:北京 : 机械工业出版社, 2004
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